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一．用途:
  本所無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
二．特點：
  1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class100
  2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；
  3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.AFilter20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
  4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。
三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
  1.主要技術(shù)指標(biāo)：
    無塵等級：Class100;
    溫度范圍：60～+300℃；
    溫度均勻度：200℃±4℃;
    溫度波動度：±0.5℃（空載）
    溫控精度：±0.1℃;
    工作尺寸：W800*D600*H1300
    電源：380v,50Hz，15KW
    網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))
  2、箱體結(jié)構(gòu)：
    烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
    箱體材料：外箱采用SUS304，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
    內(nèi)膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE；
    中桶材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
  3、溫控系統(tǒng)：
    采用臺灣“宣榮”CAHO溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動演算、薄膜設(shè)定，準(zhǔn)確度±0.3%FS。
    訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。
    輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。
  4、完善的安全保護(hù)措施：
    漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、超溫防止保護(hù)裝置、電熱過電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過電流保護(hù)、機(jī)臺異常蜂鳴器警示、逆向防止器、門面安全開關(guān)
  5、選購設(shè)備(需另外收費(fèi))：
    可程式溫控器、無紙記錄儀、三色指示燈、烘烤架
注:無塵等級和尺寸可根據(jù)要求定制。