產(chǎn)品描述：
本設(shè)備主要應(yīng)用于光電子器件、新能源、太陽能電池、集成電路制造及對半導(dǎo)體等材料進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火和沉積等工藝，可用于各種工藝尺寸。該設(shè)備系統(tǒng)具有精確微機(jī)控制系統(tǒng)，氣體控制系統(tǒng)、具有多種故障報警及安全互鎖功能。
結(jié)構(gòu)介紹：
臥式擴(kuò)散爐是石英舟平行于水平面，一臺可以單管或多管的工藝爐管，平均爐管的占地面積更小，片間的工藝參數(shù)較立式擴(kuò)散爐更好,更加有利于機(jī)械手傳送光學(xué)襯底片，片內(nèi)工藝參數(shù)一致性較好。
擴(kuò)散爐由控制系統(tǒng)、進(jìn)出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成：
控制系統(tǒng)：采用觸摸一體機(jī)，傳感器萬能輸入，控制精度為0.1級。本控制系統(tǒng)采用高精度溫度控制專用模塊進(jìn)行溫度控制。主控單元(PLC)通過RS485通訊口與儀表通訊，可通過工藝編程實現(xiàn)全自動執(zhí)行升、恒、降溫度曲線(工藝設(shè)定和監(jiān)控在工控機(jī)上）。溫控模塊使用自整定的PID進(jìn)行溫度的
精確控制：
進(jìn)出舟系統(tǒng)：手動進(jìn)出料或自動進(jìn)出料(有手動石英拉鉤和懸臂槳兩種結(jié)構(gòu)）；
加熱系統(tǒng)：爐體由進(jìn)口KANTHAL（康泰爾）公司生產(chǎn)的高溫爐絲，英國MORGAN（摩根）保溫棉，優(yōu)質(zhì)99瓷絕緣子，管口處采用進(jìn)口陶瓷纖維，不銹鋼304外殼等部分組成，設(shè)備上裝有測溫?zé)犭娕己统瑴責(zé)犭娕迹?br style="font-size: 12pt; line-height: 175%" />氣路系統(tǒng):氣路系統(tǒng)包括質(zhì)量流量控制器、氣動閥、不銹鋼接頭、過濾器、減壓器、單向網(wǎng)等，管道采用耐蝕不銹鋼管。密封良好。整個管路各個網(wǎng)門之間采用程序互鎖，保證了各個閥門之間的連鎖互動關(guān)系。所有氣路管道及閥門均采用316L不銹鋼管材，軟管路均采用聚四氟乙烯管路連接?？赏ㄈ氡Ｗo(hù)性氣體(正壓＜0.04MPa下使用)。
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