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項(xiàng)目

名 稱

規(guī) 格

1

鈮酸鋰基片和晶體

Φ2″Y軸Z軸X軸

2

鈮酸鋰基片和晶體

Φ2″64°Y-X

3

鈮酸鋰基片和晶體

Φ2″128°Y-X

4

鈮酸鋰基片和晶體

Φ3″Y軸Z軸

5

鈮酸鋰基片和晶體

Φ3″64°Y-X

6

鈮酸鋰基片和晶體

Φ3″128°Y-X

7

鈮酸鋰基片和晶體

Φ4″Y軸Z軸

8

鈮酸鋰基片和晶體

Φ4″64°Y-X

9

鈮酸鋰基片和晶體

Φ4″128°Y-X

晶體結(jié)構(gòu)

三方晶系，點(diǎn)陣3m

晶格常數(shù)

a=5.148, c=13.863

密度

4.64g/cm³

熔點(diǎn)

1250℃

居里溫度

1142±2℃

硬度

5

介電常數(shù)

ε11/ε0=85; ε33/ε0=29.5

電阻系數(shù)

25℃時38W/m/℃

熱膨脹系數(shù)

25℃時a₁=a₂=2*10^-6/℃, a₃=2.2*10^-6/℃

壓電常數(shù)

d₂₂=2.04*10^-11C/N,d₃₃=0.6*10^-11C/N, d₁₅=7X10^-11C/N，d₃₁=-0.1*10^-11C/N

彈性剛度常數(shù)

C₁₁E=2.04*10¹¹N/m²,C₃₃E=2.46*10¹¹N/m²,

軸向

64°旋轉(zhuǎn)Y軸±0.2°

127.86°旋轉(zhuǎn)Y軸±0.2°

Y軸 ± 0.2°

直徑

76.2mm±0.3mm

100.0mm±0.3mm

76.2mm±0.3mm

100.0mm±0.3mm

76.2mm±0.3mm

100.0mm±0.3mm

基準(zhǔn)面

22mm±2mm

22mm±2mm

垂直于X ± 0.2°

22mm±2mm

22mm±2mm

垂直于 X ± 0.2°

22mm±2mm

22mm±2mm

垂直于X ± 0.2°

第二參考面

10mm±3mm

Cw180°± 0.5°從 OF

10mm±3mm

Cw225°±0.5°從OF

10mm±3mm

Cw270°± 0.5°從OF

厚度

500um ± 20um

350um ± 20um

500um ± 20um

350um ± 20um

500um ± 20um

350um ± 20um

傳播表面 

“+”側(cè)Ra ≤ 8 

“+” 側(cè)Ra ≤ 8 

“+” 側(cè)Ra ≤ 8 

晶片背面

GC#1000l涂敷和蝕刻

0.2um≤Ra≤0.7um

GC#1000l涂敷和蝕刻

0.2um≤Ra≤0.7um

GC#1000l涂敷和蝕刻

0.2um≤Ra≤0.7um

TTV

≤ 10um

LTV

≤ 2.0um 在5*5mm²區(qū)域內(nèi)

PLTV

≥ 95% (3mm豁邊)

BOW

-25um ≤ Bow ≤ +25um

居里溫度

1142℃±3℃(DTA法)

邊緣倒角

圓邊倒角